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Elektronenstrahl-Mikrosonde (EMS)

Elektronenstrahl-Mikrosonde (EMS)

Die Elektronenstrahl-Mikrosonde ist ein Gerät zur chemischen Punktanalyse von polierten Festkörperoberflächen. Die räumliche Auflösung liegt in der Größenordnung von 1 µm, bei sehr empfindlichen Materialien 5-10 µm. Nachweisgrenzen für chemische Elemente  liegen typischerweise im Bereich von einigen 100 ppm. Je nach Geräteausstattung können Elemente von Ordnungszahl 7 (Fluor) oder sogar 4 (Beryllium) an aufwärts detektiert werden. Neben Punktanalysen werden mit der EMS auch Elementverteilungsbilder erstellt.

(Ralf Milke)